高分辨率臺式掃描電鏡的分辨率主要由電子束的直徑和探測器的靈敏度決定。電子束的直徑越小，分辨率越高。而電子束的直徑又由電子槍的性能和電磁透鏡的質(zhì)量決定。探測器的靈敏度越高，能夠檢測到的信號電子就越多，分辨率也就越高。分辨率還受到工作距離、加速電壓、樣品的導(dǎo)電性能等因素的影響。工作距離越短，加速電壓越高，樣品的導(dǎo)電性能越好，分辨率就越高。
高分辨率臺式掃描電鏡的設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
-體型小巧：體型小巧，占用空間小，這使得它在實(shí)驗(yàn)室中的布置更為靈活，不需要專門的大空間進(jìn)行安置。
-結(jié)構(gòu)簡潔：產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡潔，不僅美觀，而且易于維護(hù)及保養(yǎng)。簡潔的設(shè)計(jì)降低了日常使用中的復(fù)雜性，提高了設(shè)備的使用效率。
-操作界面友好：強(qiáng)大的軟件功能配合單窗口操作界面，使得用戶操作變得方便簡單。這種人性化的設(shè)計(jì)理念，大大降低了操作者的技術(shù)門檻，使得設(shè)備更加普及。
-實(shí)時(shí)存儲：軟件實(shí)現(xiàn)檢測圖形實(shí)時(shí)存儲，這對于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的即時(shí)分析和記錄至關(guān)重要，保證了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和實(shí)時(shí)性。
-自動平臺：采用中心定位模式的自動平臺，能夠迅速定位待測樣品。這種設(shè)計(jì)提高了樣品檢測的效率，節(jié)省了準(zhǔn)備時(shí)間。
-高低壓真空設(shè)計(jì)：可調(diào)式電壓的高低壓真空設(shè)計(jì)為不同樣品提供了更合適的檢測環(huán)境，這種靈活性是傳統(tǒng)掃描電鏡所不具備的。
-高亮度燈絲：使用高亮度燈絲的高分辨率臺式掃描電鏡，放大倍數(shù)可達(dá)130,000倍，能夠觀察到納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
-全新聚焦系統(tǒng)：基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm，這為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了細(xì)節(jié)觀察能力。
-全自動操作：具有全自動操作功能，包括15秒快速抽真空、不噴金觀看等功能，這些都極大地提升了用戶的使用體驗(yàn)。
-微區(qū)形貌分析：掃描電子顯微鏡適用于高分辨率微區(qū)形貌分析，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括但不限于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個(gè)學(xué)科。
-立體感成像：具有景深大、成像直觀、立體感強(qiáng)的特點(diǎn)，這使得其在三維結(jié)構(gòu)分析中具有特殊的優(yōu)勢。
